Автоматическое наблюдение
Корректирует лазерный луч, настраивает параметры во время наблюдения и выполняет автоматическую обработку изображений
Время работы при использовании стандартных образцов и стандартных консолей: около 5 минут*
* Для автоматического наблюдения с квадратным полем зрения 1 мкм и разрешением 256 × 256 пикселей. Время работы может варьироваться в зависимости от оператора.
Предыдущие системы SPM требовали практики регулировки светового луча, настройки параметров во время наблюдений и обработки данных изображений, но SPM-Nanoa автоматизирует эти процессы, чтобы обеспечить бесперебойную работу.
Обширный функционал
Получение четких изображений во всех режимах — от оптической до СЗМ-микроскопии</strong
Цели могут быть обнаружены с помощью оптического микроскопа, а увеличенное наблюдение облегчается с помощью СЗМ.
Другая информация о физических свойствах может быть получена с тем же полем зрения, что и изображение формы поверхности.
Образец: SiO2 узоры на Si
Широкий выбор режимов наблюдения
Поддерживает широкий спектр режимов наблюдения, от наблюдения форм до картирования физических свойств на основе измерений кривой силы.
Это означает, что физические свойства могут быть оценены с высоким разрешением.
| Контактный режим / Динамический режим |
| Фазовый режим / Режим боковой силы (LFM) / Режим модуляции силы / Быстрое нано-3D-картирование* |
| Режим электрического тока* / Режим магнитной силы (MFM)* / Режим поверхностного потенциала (KPFM)* / Режим пьезоэлектрической силы (PFM)* / STM* |
| Векторное сканирование* |
| Наблюдение в жидкости* |
*Необязательный
Простой поиск целей
Цели можно легко искать на четких изображениях оптического микроскопа без воздействия вибрации.
SPM-Nanoa сочетает в себе высокопроизводительный оптический микроскоп и блок SPM в единой интегрированной системе.
Просмотр тестовых шаблонов
С помощью встроенного оптического микроскопа (слева) можно четко наблюдать периодическую структуру с интервалом 3 мкм на поверхности образца.
Наблюдение за локализованными физическими свойствами с высоким разрешением
Деформация особо мягких образцов или различия в механических или электрических свойствах образцов могут наблюдаться с высоким разрешением, даже если такие характеристики локализованы.
Наблюдение наночастиц золота на слюдяной подложке в режиме KPFM
На нем показано изображение поверхностного потенциала (справа), полученное с тем же полем зрения, что и изображение формы 0,2 мкм (слева).
Изображения 8K позволяют наблюдать за большими территориями с высоким разрешением
Детализированные структуры можно наблюдать даже на снимках больших площадей. Наблюдение с высоким разрешением достигается с разрешением до 8K (8192 × 8192) пикселей.
Наблюдение за осаждением металлических покрытий из паровой фазы
Экономит время
Различные вспомогательные функции обеспечивают быстрое наблюдение
Время наблюдения было значительно сокращено за счет более быстрых процессов наблюдения и картирования физических свойств.
Простые процессы замены образцов и кантилеверов обеспечивают быструю подготовку системы к наблюдениям.
Три функции позволяют значительно сократить время наблюдения.
Высокопроизводительное наблюдение
Быстрое картирование физических свойств
Время сбора данных, необходимое для наблюдения и картирования физических свойств, было значительно сокращено за счет использования высокопроизводительного сканера, обеспечивающего быстрый отклик, и оптимизации алгоритма управления.
* Фактическое время наблюдения будет варьироваться в зависимости от настроек параметров.
Простая и беспроблемная замена образца
Образцы можно размещать и удалять, открывая/закрывая столик одним щелчком мыши. Поскольку система сохраняет положение лазерного луча, образцы можно наблюдать сразу после замены.
Простая и надежная замена консольного станка – консоль Master (опция) –
Консоли можно установить, просто поместив консоль в указанное положение, а затем сдвинуть ее по направляющей. Это гарантирует, что консоли могут быть легко и надежно заменены даже операторами, не привыкшими к использованию пинцета.
