SolidSpec-3700i – УФ-ВИД-ИК спектрофотометр для анализа оптических материалов, полупроводников и других образцов
SolidSpec-3700i – это инновационный спектрофотометр с тремя детекторами, предназначенный для работы с крупногабаритными образцами. Управление осуществляется через ПК, что обеспечивает удобство и точность измерений.
Ключевые характеристики:
-
Широкий спектральный диапазон – 165–3300 нм
-
Просторная камера для образцов – 900 × 700 × 350 мм
-
Автоматизированная система позиционирования – прецизионное перемещение образца
-
Регулируемая щель – 10 ступеней (0,1–32 нм)
-
Высокая фотометрическая точность – диапазон от –6 до +6 е.о.п., уровень рассеянного света < 0,00005%Т при 340 нм
-
Программное обеспечение – LabSolutions UV-Vis
Преимущества серии SolidSpec
Спектрофотометры SolidSpec сочетают высокую чувствительность, широкий рабочий диапазон (от глубокого УФ до ближнего ИК) и вместительное отделение для образцов. Эти особенности делают их незаменимыми при исследовании:
-
Оптических стекол и покрытий
-
Полупроводниковых материалов
-
Солнечных панелей и дисплеев
-
Определения ширины запрещенной зоны
-
Анализа оптических компонентов
Программное обеспечение LabSolutions UV-Vis
(Ранее использовалось ПО UVProbe для моделей SolidSpec-3700/3700 DUV)
LabSolutions UV-Vis не только обеспечивает полный контроль измерений, но и позволяет:
Дополнительные модули ПО:
Уникальные особенности SolidSpec-3700i / 3700i DUV
1. Высокая чувствительность
Обычные спектрофотометры используют фотоэлектронный умножитель (ФЭУ) для УФ-видимой области и PbS-детектор для ближнего ИК, что снижает точность на границе диапазонов.
SolidSpec-3700i решает эту проблему за счет трех детекторов:
Это обеспечивает:
-
Максимальную чувствительность в переходной зоне
-
Минимальный уровень шума даже при работе с малопрозрачными образцами (например, оптическими волокнами)
2. Работа в вакуумном УФ-диапазоне
SolidSpec-3700i DUV поддерживает измерения от 165 нм (от 175 нм с интегрирующей сферой) с минимальным рассеянием света.
Особенности конструкции:
-
Продувка азотом для устранения кислорода (поглощает излучение ниже 190 нм)
-
Диапазон с интегрирующей сферой – 175–2600 нм
-
Модуль Direct Detection Unit (DUV) – расширяет диапазон до 165–3300 нм без использования сферы
3. Возможность работы с крупными образцами
-
Максимальный размер образца – 700 × 560 × 40 мм
-
Автоматическое сканирование по площади 310 × 310 мм²
-
Вертикальное расположение луча – удобство для горизонтальных образцов
-
Точное позиционирование с продувкой азотом
4. Дополнительные приставки (опционально)
-
DUV-Detection Unit (прямое детектирование для твердых и жидких проб)
-
Прецизионный X-Y механизм (автоматическое сканирование)
-
Модуль зеркального отражения
-
Система очистки азота
-
Угловая приставка для отражения (5⁰, 12⁰, 30⁰, 45⁰)
-
Интегрирующая сфера
-
Автосэмплеры ASX
Области применения
Исследование покрытий – высокоточные измерения в УФ-ИК диапазоне
Полупроводники – анализ поверхности и оптических свойств
Оптические материалы – тестирование антибликовых покрытий
Оптоэлектроника – контроль качества компонентов
SolidSpec-3700i – это универсальный инструмент для научных и промышленных исследований, обеспечивающий точность, скорость и удобство работы.
Спектральный диапазон |
SolidSpec-3700i: стандартные модели 240–2600 нм; с использованием приставки для прямого детектирования 190–3300 нм. SolidSpec-3700i DUV: модели для измерения в глубоком УФ 175–2600 нм; с использованием приставки для прямого детектирования 165–3300 нм. |
Спектральная ширина щели |
8-ступенчатая: 0,1; 0,2; 0,5; 1; 2; 3; 5; 8 нм в УФ/видимой области 10-ступенчатая: 0,2; 0,5; 1; 2; 3; 5; 8; 12; 20; 32 нм в ближней ИК области |
Разрешение(*) |
0,1 нм |
Шаг по длине волны |
от 0,01 до 5 нм |
Точность отображения длины волны |
шаг 0,01 нм |
Погрешность установки длины волны(*) |
± 0,2 нм в УФ / видимой области ± 0,8 нм в ближней ИК области |
Воспроизводимость длины волны(*) |
± 0,08 нм в УФ/видимой области ± 0,32 нм в ближней ИК области |
Скорость сканирования длины волны |
Максимально 3600 нм/ в минуту для ФЭУ и InGaAs-детектора Максимально 1600 нм/ в минуту для PbS-детектора |
Переключение ламп |
Автоматическое переключение (можно выбрать в интервале между 282 и 393 нм с шагом 0,1 нм) |
Уровень рассеянного излучения(*) |
< 0,00008% (220 нм, NaI) < 0,00005% (340 нм, NaNO2) < 0,0005% (1420 нм, H2O) < 0,005% (2365 нм, CHCl3) |
Уровень шума |
0,0002 Abs или менее (500 нм) 0,00005 Abs или менее (1500 нм), щель 8 нм, пост. времени 1 с |
Колебания базовой линии |
± 0,003 Abs (от 240 до 350 нм), ± 0,002 Abs (от 350 до 1600 нм), ± 0,004 Abs (от 1600 до 2600 нм), ± 0,001 Abs (от 200 до 3000 нм) при использовании DDU |
Дрейф |
SolidSpec-3700i 0,0002 Abs/час (после 2 часов прогрева прибора, 500 нм, постоянная времени 1с) SolidSpec-3700i DUV 0,0003 Abs/час (после 2 часов прогрева прибора, 500 нм, постоянная времени 1с) |
Источники света |
50 Вт галогенная лампа (2000 часов работы) Дейтериевая лампа (1250 часов работы) Встроенное автоматическое позиционирование ламп. |
Монохроматор |
Двойной монохроматор с дифракционными решетками |
Детекторы |
УФ/видимая область: ФЭУ (типа R928 для SolidSpec-3700i, R955 для SolidSpec-3700i DUV) Ближняя ИК область: InGaAs фотодиод и охлаждаемый PbS |
Фотометрический диапазон |
от –6 до 6 Abs |
Оптическая схема |
Двухлучевая |
Размеры, масса |
1000 x 800 x 1200 мм (Ш х Г х В), 170 кг |
* измерения проводили с использованием Дополнительного модуля для прямого измерения в ультрафиолете DDU-DUV
Выдающаяся точность измерений с SolidSpec-3700i/3700i DUV

Спектрофотометры SolidSpec-3700i/3700i DUV обеспечивают беспрецедентную точность при анализе спектров пропускания и отражения, что делает их незаменимыми для исследования оптических компонентов. Благодаря уникальной трехдетекторной системе, эти приборы охватывают весь спектральный диапазон – от ультрафиолета до ближнего инфракрасного излучения.
Превосходная чувствительность в ближнем ИК-диапазоне
Решение проблемы "слепой зоны" на границе видимого и ИК-диапазонов
Обычные спектрофотометры, использующие:
не способны обеспечить достаточную чувствительность в переходной зоне. SolidSpec-3700i/3700i DUV решают эту проблему благодаря дополнительному InGaAs-детектору, что обеспечивает бесшовные измерения во всем диапазоне.

Рекордно низкий уровень шума – новые стандарты точности
SolidSpec-3700i/3700i DUV демонстрируют исключительно чистый сигнал в ближнем ИК-диапазоне:
-
850–1600 нм – стабильно низкий уровень шума
-
1300–1600 нм – снижение шума в 4 раза по сравнению с обычными приборами
-
При пропускании менее 1% (1300–1500 нм) – уровень шума менее 0,1%
Эта революционная чувствительность делает спектрофотометры идеальными для анализа:

Мировые рекорды по уровню шума
При 1500 нм SolidSpec-3700i/3700i DUV демонстрируют лучшие в мире показатели:
С интегрирующей сферой:
С модулем DDU/DDU-DUV:
Эти характеристики подтверждают, что SolidSpec-3700i/3700i DUV – это новый эталон в спектрофотометрии для научных и промышленных исследований.
olidSpec-3700i DUV позволяет проводить измерения в диапазоне от 175 нм до 2600 нм с помощью интегрирующей сферы и в диапазоне от 165 нм до 3300 нм путем установки дополнительного блока детектирования DDU-DUV. При использовании дополнительных аксессуаров можно проводить измерения в широком диапазоне от глубокого УФ до ближнего ИК. Поскольку кислород воздуха поглощает ультрафиолетовый свет в области ниже 190 нм, то оптический блок и кюветное отделение продуваются азотом для удаления кислорода.
Высокая чувствительность и низкий уровень рассеянного света при проведении измерений в глубоком УФ

Спектр пропускания кварцевой пластины, измеренный с помощью дополнительного блока детектирования DDU-DUV, показан на рисунке справа.
С использованием SolidSpec-3700i DUV в УФ-диапазоне получены спектры со значительно более низким уровнем шума.
Большое отделение для образцов (900 мм x 700 мм x 350 мм) позволяет удобно разместить образцы максимальной величины 700 мм х 560 мм х 40 мм. Вертикальное расположение оптического пучка позволяет проводить измерения образцов, расположенных горизонтально. Возможно измерение по всей поверхности образца площадью 310 х 310 мм2. Автоматическая система перемещения образца позволяет проводить измерения в предварительно заданной точке образца с одновременной продувкой азотом.

Большое кюветное отделение с автоматической системой перемещения образца
12-дюймовая кремниевая пластина, помещенная в автоматическую систему перемещения образца

Автоматическое измерение
Автоматическая система перемещения образца позволяет проводить измерения в предварительно заданной точке образца с одновременной продувкой азотом.

Спектр отражения пленки SiO2 на поверхности 12-дюймовой кремниевой пластины

Толщина пленки SiO2 на поверхности 12-дюймовой кремниевой пластины